TC Wafer
产品概述
TC Wafer 为晶圆测温专用结构形式，适用于半导体及光伏制程中的高温测温与热场监测。
产品特点
- 适合晶圆及片状工件的测温需求
- 结构紧凑，响应快速
- 可适应真空与洁净环境
- 支持按图纸定制尺寸
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| 项目 | 参数 |
| 类型 | 晶圆测温结构热电偶 |
| 分度号 | K / S 等可选 |
| 测温范围 | 0～1300℃ |
| 适用环境 | 真空 / 洁净 / 惰性气氛 |
| 规格 | 按图纸定制 |
应用场合
适用于半导体晶圆制程、光伏电池片、真空镀膜等设备的高温测温。
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